10.3969/j.issn.1004-4507.2015.03.015
应用材料公司推出革命性的针对FinFET晶体管和3D NAND器件的电子束量测设备
全球领先的半导体、平板显示和太阳能光伏行业精密材料工程解决方案供应商应用材料公司，在加利福尼亚州圣何塞举行的国际光学工程学会(SPIE )先进光刻技术大会上，推出了业界首款在线3D 扫描电子线宽量测系统，成功解决了针对高纵横比和3D N A N D 及 FinFE T 等复杂功能器件量测方面的挑战。这款名为V eritySE M 5i的量测系统借助尖端高清晰度成像技术和背散射电子（B SE）技术，能实现卓越的在线线宽控制。通过使用V eritySE M 5i系统，芯片制造商能显著加快工艺开发和产能扩张速度，同时提高器件性能，实现大批量生产。
应用材料、革命、晶体管、器件性能、电子束、量测系统、加利福尼亚州、光刻技术、工程解决方案、大批量生产、线宽控制、扫描电子、扩张速度、精密材料、光学工程、光伏行业、功能器件、工艺开发、高清晰度、成像技术
TN3;TN2
2015-04-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共1页
57-57
