10.3969/j.issn.1004-4507.2015.03.011
先进的FOGALE测量技术为中国半导体产业助力
法国FO G A L E N anotech创立于1983年，是一家致力于高精确度非接触式感测设备研发的公司，其产品在航空、车辆、医学、生化及民生领域有着广泛的应用。在半导体及M EM S生产的晶圆减薄、临时键合、高深宽比的TSV 三维集成、M EM S器件测量、三维尺寸度量的解决方案中，凭借其领先的光学及电容量测及享有专利的T SV 单点一次性量测技术提供有效的量测和在线工艺控制、成为众多全球领先的客户在3D IC 与M E M S 生产领域的合作伙伴。《电子工业专用设备》杂志编辑有幸对FOGALE半导体部门的副总裁GillesFRESQUET 进行了采访，了解FOGALE 公司对中国市场的战略部署。
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TV8;TV1
2015-04-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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