10.3969/j.issn.1004-4507.2015.02.010
450 mm（18英寸）晶圆计划踩煞车ASML：现阶段已无必要性
荷商微影设备大厂A SM L 在2012年提出的“客户联合投资专案”(C ustom er C o-Investm ent Program )，广邀台积电、英特尔(Intel)和三星电子(Sam sung E lectronics)三家半导体大厂投资入股研发450 mm 晶圆机台和极紫外光(EUV)机台，不过，现在整个半导体产业链对于450 m m 晶圆世代的来临已无急迫需求，研发资金会以300 m m （12英寸晶圆的 E U V 机台为主，450 m m 晶圆计划已紧急踩煞车。
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2015-04-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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