10.3969/j.issn.1004-4507.2015.01.010
基于工位自控制的全自动单片清洗设备的软件设计
为了更好的控制全自动单片清洗设备,通过研究设备的结构和运行流程,提出了一种基于工位自控制的方法实现设备自动运行的软件设计,使各工位并行运行,提高了运行效率.
半导体设备、自控制、单片清洗、软件设计
44
TN305(半导体技术)
2015-03-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
39-42
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10.3969/j.issn.1004-4507.2015.01.010
半导体设备、自控制、单片清洗、软件设计
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TN305(半导体技术)
2015-03-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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