10.3969/j.issn.1004-4507.2014.08.004
300mm快速升降温炉体的研究
介绍了一种快速升降温炉体的研制.由于传统的炉体升温响应较慢,升温耗时耗能,与之相比的快速升降温炉体,在升温性能方面,实现了升温响应快、抑制超调效果好.在降温方面,传统炉体只能依靠自然降温,平均降温速率3~4℃/min,增加了晶圆的工艺时间,增大了设备工艺气体、水、电等资源的消耗,而具有快速降温能力的炉体,很好地克服了传统炉体自然降温方面的不利.在新近研制的300 m m立式氧化设备中,实现了30℃/min的升温速率和15℃/min的降温速率,大大缩短了晶圆的工艺时间,保证了晶圆的成膜质量.
立式氧化炉、炉体、快速升降温
TN305(半导体技术)
2014-10-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
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