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10.3969/j.issn.1004-4507.2014.08.002

涂胶显影机的产能设计

引用
涂胶显影机的产能设计是一个重要部分,通过对机台的工艺时间参数、工艺处理周期时间参数、工艺传递周期时间参数等核心参数的设计,有效地配置工艺处理模块的数量及位置、工艺传递晶圆的速度及路线,搭建出目标机台内的工艺模块组成架构,确定出目标机台内的各个机器人技术参数,满足与光刻机联线生产的量产涂胶显影机对产能的技术需求.

机台的工艺时间参数、工艺处理周期时间参数、工艺传递周期时间参数

TN305(半导体技术)

国家科技重大专项02专项2012ZX 02102

2014-10-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

8-10,14

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电子工业专用设备

1004-4507

62-1077/TN

2014,(8)

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