10.3969/j.issn.1004-4507.2014.06.004
移动式硅片退火设备的研制
对硅片退火设备的结构及功能进行了大量的改进，介绍了设备的工作原理、结构特点及达到的技术指标。研究了硅片在真空炉中的退火工艺。该设备的研究提升了硅片退火处理的稳定性及工艺性，达到了工艺要求的效果。
硅片、退火、真空炉
TN305(半导体技术)
2014-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
16-18,31
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10.3969/j.issn.1004-4507.2014.06.004
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TN305(半导体技术)
2014-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
16-18,31
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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