10.3969/j.issn.1004-4507.2014.03.017
第三代闭管软着陆扩散系统
闭管软着陆扩散系统采用闭管扩散的方式。碳化硅浆把石英舟放入石英管后再退出石英管，保证整个工艺过程完全不受外界环境干扰。系统整机清洁降低了石英制品清洗的频次。控制终端采用专业工控机配备进口温控仪表、质量流量计及完善的报警功能。
闭管、软着陆、石英管、质量流量计、扩散系统、温控仪表、石英制品、控制终端、环境干扰、工艺过程、报警功能、碳化硅、工控机、专业、整机、清洗、清洁、频次、配备、进口
O78;TP3
2014-03-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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