10.3969/j.issn.1004-4507.2014.03.010
直线电机保护装置的设计与控制方法
直线电机具有精度高、响应快等优点，广泛应用于半导体制造设备中。直线电机控制机构Z向运动时，经常出现掉电或故障导致的电机动子跌落而发生损坏晶圆的情况。利用电磁铁螺线管设计了一种电机掉电保护装置，建立动力学模型，应用Adams软件进行了动力学仿真，获得了挂钩转角与时间的关系曲线，并通过搭建实验平台，测试了该系统的反应时间。实验表明，反应时间的仿真与实验结果吻合较好，该装置可以应用于直线电机保护中。
直线电机、保护装置、Adams仿真、螺线管
TM303(电机)
2014-03-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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