第八届（2013年度）中国半导体装备创新产品和技术介绍
八项半导体设备被评为2013年度的中国半导体设备创新产品<br> 2014年1月21日中国电子专用设备工业协会、中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子报在北京共同举办了“第八届（2013年度）中国半导体创新产品和技术评选”活动。由16位行业内专家组成的评选委员会按照评选条件进行综合评价，8项半导体设备被评选为2013年度中国半导体设备创新产品。
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S51;S12
2014-03-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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