10.3969/j.issn.1004-4507.2014.02.004
非接触式预对准系统及控制技术研究
高精度高效率的预对准系统是现代集成电路(IC)生产中实现晶圆自动传输的重要部件.介绍了预对准台的大致设计结构,分析了目前常见的找心算法以及存在的问题,进而提出新的找圆心算法.之后针对带切边晶圆片的切边方向定位算法进行了分析归纳,总结出完整的切边定位算法.
预对准、圆心校正、切边校正
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TN605(电子元件、组件)
2014-05-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
18-22,32
