遗传算法在湿法刻蚀设备温度PID控制中的应用
在湿法刻蚀的工艺过程中，影响刻蚀速度和刻蚀效果的元素有很多，温度是其中一个关键因素，所以在湿法刻蚀设备研制中对温度精度的控制成为重要技术之一。使用基于遗传算法的PID 控制方法来实现对温度的控制，进行仿真以及和传统PID 控制比较，在实际应用中得到了很好的结果。
遗传算法、湿法刻蚀、PID 控制、温度
TN305.7(半导体技术)
2014-02-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
31-34
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遗传算法、湿法刻蚀、PID 控制、温度
TN305.7(半导体技术)
2014-02-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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