微组装关键工艺设备技术平台研究
介绍了微组装设备技术发展现状，重点论述了微组装关键设备工程化技术、先进微组装工艺技术和微组装工艺设备标准规范等微组装设备技术平台研究。通过该技术平台的研究，提升了微组装关键设备的先进性、稳定性和工艺系统集成能力。
微组装工艺设备、工艺系统集成、技术平台
TN605(电子元件、组件)
2014-02-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
8-12
相关文献
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微组装工艺设备、工艺系统集成、技术平台
TN605(电子元件、组件)
2014-02-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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