10.3969/j.issn.1004-4507.2013.11.011
全自动光刻机的同步控制方法
对于一种包含多个相对独立又彼此干涉机构的全自动光刻机,设计合理的控制方法才能使各个机构高效而稳定地协同工作.按照机械结构将设备划分为4个控制对象,采用同步控制方法使这4个对象实现并行工作.这种控制方法相对于顺序执行工艺流程的方式,极大地提高了设备的运行效率.而且,这种同步控制方法也可适用于具有类似控制要求的其他设备.
多机械手、同步控制、全自动光刻机
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TN305.7(半导体技术)
2014-03-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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