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10.3969/j.issn.1004-4507.2013.11.008

双面对准光路系统设计

引用
针对激光划片机中提出的双面图形加工要求,设计了双面对准光路系统,满足图形双面识别和激光划片的要求.介绍了正反面光路结构的设计、光源配置以及图像识别算法的应用,通过试验验证了该技术的可行性.

激光划片、双面对准、光路结构

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TN305(半导体技术)

2014-03-03(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

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电子工业专用设备

1004-4507

62-1077/TN

42

2013,42(11)

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