一种容易实现的硅片分类机
本着实现半导体硅片分类机全部自主知识产权的目的,这里介绍一种关键零部件国内设计、制造的200 mm(8英寸)以上的半导体硅片分类机.本分类机用紧凑的结构(包括单个机械手和两套硅片标识识别装置),采用了较好的图像处理软件和可靠的字符标识识别软件,实现了制造成本低、识别成功率高、可靠性好、便于实现的结果.介绍了分类机的试验样机经过试验,已经证明了其主要功能的有效性.因此,此分类机具有产品化可能.
机械手、硅片传输、硅片缺口对准、标识识别
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TN305(半导体技术)
2014-02-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共7页
12-17,35
