10.3969/j.issn.1004-4507.2013.07.008
蓝宝石多线切割设备及切割技术
介绍了蓝宝石多线切割机的发展技术背景,并就中国电子科技集团公司第四十八研究所基于金刚石线多线切割自主研发的X 0730-3/U M 型线切割机详细的介绍,性能特点,关键技术以及切割工艺实验分析,就金刚石线多线切割机理分析以及应用进行了初步的探讨。
多线切割、金刚石线、恒张力控制、摇摆切割
TN305.1(半导体技术)
2013-08-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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