10.3969/j.issn.1004-4507.2013.07.001
浅谈微组装设备的标准化问题
微组装设备技术是国防科技工业先进制造能力的重要组成部分。依赖进口整线设备组建的微组装工艺线存在整线集成缺乏顶层设计、设备匹配性不好、数据界面不统一、工艺基准及工装兼容性较差等问题，引出了微组装设备技术自主发展存在的标准化、模块化、通用化问题，阐明了标准化工作对于微组装设备研制及推动微组装设备自主可控发展的重要意义。最后，提出了微组装设备技术标准化的基本原则和发展建议。
微组装、专用设备、标准化、工艺验证
TN305(半导体技术)
2013-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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