10.3969/j.issn.1004-4507.2013.06.001
全自动单晶圆铝腐蚀清洗机工艺原理与工作过程介绍
介绍了几种常用的晶圆金属铝膜腐蚀工艺，并详细讲解了全自动单晶圆铝腐蚀清洗机采用第四种工艺配方进行金属铝膜腐蚀清洗的工艺过程。同时，简单介绍了为提高腐蚀清洗效果而设计的两套子系统的工作原理。
半导体、铝腐蚀、单晶圆清洗、自动设备
TN305.97(半导体技术)
2013-07-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
1-4,31
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10.3969/j.issn.1004-4507.2013.06.001
半导体、铝腐蚀、单晶圆清洗、自动设备
TN305.97(半导体技术)
2013-07-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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