10.3969/j.issn.1004-4507.2013.05.016
故障树分析法在RIE故障诊断中的应用
基于半导体刻蚀技术,对RIE(反应离子刻蚀)的技术原理和等离子启辉原理进行了阐述,概括介绍了故障树分析法,绘制了启辉故障的故障树,分析了造成该故障的各种原因,并根据维修经验介绍了APC(自动压力控制)故障和AMU(自动匹配网络)故障等一些典型因素的处理方法.
反应离子刻蚀、等离子、故障树、自动压力控制、自动匹配网络
TN305(半导体技术)
2013-06-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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