10.3969/j.issn.1004-4507.2013.04.011
JBQ-3200型全自动金属膜剥离清洗系统研制技术
主要介绍了JBQ-3200型全自动金属膜剥离清洗系统设备功能、用途、结构组成、性能指标、主要特点,以及解决的关键技术和应用,能自动完成厚度在0.25～0.7 mm的φ100～φ200 mm具有基准边的标准圆片微细图形金属膜剥离、清洗和甩干工艺,剥离线宽能做到0.35 μm以上,是声表面波(SAW)器件、GaAs微波、毫米波器件、MEMS器件、OLED器件和先进封装等器件制造工艺中的关键设备.
金属膜剥离、自动传输系统、剥离清洗腔体、CCD中心定位、电气控制、软件系统
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TN305(半导体技术)
2013-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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