10.3969/j.issn.1004-4507.2013.04.004
多线切割机轴辊温度智能控制
多线切割机轴辊温度对于硅片表面质量,尤其是翘曲度有较大的影响.传统的PID控制方法由于其局限性难以满足实际生产的要求.提出一种智能PID温度控制方案,模拟人的控制策略及方法,结合经典PID方案进行轴辊温度控制.该方法简单有效、工作可靠,满足半导体用多线切割机的要求,并在实际工作中成功应用.
多线切割机、轴辊温度控制、智能PID
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TN305(半导体技术)
国家02科技重大专项中硅材料设备应用工程2009ZX02011-002A
2013-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
15-18,54
