10.3969/j.issn.1004-4507.2013.04.002
UHVCVD SiGe外延设备真空腔室及自动传输系统设计
介绍了UHVCVD SiGe外延设备真空腔室及自动传输系统的具体设计,通过合理选取预备室和反应室的真空泵组,满足了设备的超高真空要求,自动传输系统则保证了反应室高洁净环境、提高外延生产效率.
自动传输系统、预备室、反应室、超高真空
42
TN305(半导体技术)
2013-05-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
9-11,33
10.3969/j.issn.1004-4507.2013.04.002
自动传输系统、预备室、反应室、超高真空
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TN305(半导体技术)
2013-05-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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