10.3969/j.issn.1004-4507.2013.01.008
激光干涉仪线性测长的准直调节方法
概述了激光干涉仪在半导体工艺设备精度分析领域的应用,简单介绍了光路准直对线性测长的影响.依据激光干涉仪的准直测量原理,详细介绍了激光干涉仪准直的调节方法.
激光干涉仪、光路准直、精密测量
42
TH705(仪器、仪表)
2013-03-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
34-38
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10.3969/j.issn.1004-4507.2013.01.008
激光干涉仪、光路准直、精密测量
42
TH705(仪器、仪表)
2013-03-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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