10.3969/j.issn.1004-4507.2012.10.002
超声技术在半导体行业中应用探隶
晶片的洁净程度直接决定了晶片的价值，而晶片最前端工艺就是清洗。现代化超声技术的应用可让晶片更洁净。超声波清洗的功率、频率、尺寸、安装方式的选择都与晶片清洁程度有着密切关系。主要对超声波的原理和频率的选定进行了介绍。
超声波、兆声波、清洗
41
TN305.97(半导体技术)
2012-12-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共3页
4-5,20
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10.3969/j.issn.1004-4507.2012.10.002
超声波、兆声波、清洗
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TN305.97(半导体技术)
2012-12-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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