10.3969/j.issn.1004-4507.2012.09.010
预浓缩气相色谱质谱在半导体洁净室VOC管控中的应用
对预浓缩气相色谱质谱在半导体洁净室VOC(Volatile Organic compound,挥发性有机化合物)管控中的应用进行了系统的归纳和总结。主要从三个方面的应用进行了讨论:一是洁净室VOC来源确认,二是确认厂务系统处理效率的应用,三是厂务系统处理最终效果的确认。也是实验室分析仪器在半导体行业应用方面的成功范例。
预浓缩气相色谱质谱、挥发性有机化合物、洁净室、化学过滤器
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TN305.97(半导体技术)
2012-12-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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31-34,50