10.3969/j.issn.1004-4507.2011.12.001
全自动网络单晶炉系统设计与应用
单晶炉是生产单晶硅的核心设备,其控制系统分析模型的建立有两种方法。一是以单晶直径外形尺寸为目标建立模型;二是以电气控制系统变量为目标建立模型。两种方法均未考虑到单晶生长工艺影响与单晶工艺指标。提出一种以固液交界面热场动态平衡分析为基础的方法,建立单晶炉控制系统变量分析模型,并据此辅以直径形状控制变量的工艺性制约因素考虑,采用工业以太网技术构成全自动网络单晶炉系统设计方案。
单晶炉、固液交界面、设计、模型
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TF806.9(有色金属冶炼)
2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
1-4,14
