10.3969/j.issn.1004-4507.2011.07.009
300mm全自动去胶清洗设备的研制
介绍了一种全自动去胶清洗设备的结构技术,主要从工艺槽体溶液均匀性实现等方面阐述槽体结构。经用户使用证明：该系统运行稳定可靠,工艺灵活,清洗工艺先进。适用150～300 mm晶圆片的去胶、腐蚀、清洗等工艺。
机械手、去胶槽、去胶清洗设备
40
TG155.41(金属学与热处理)
2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共3页
31-33
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10.3969/j.issn.1004-4507.2011.07.009
机械手、去胶槽、去胶清洗设备
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TG155.41(金属学与热处理)
2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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