10.3969/j.issn.1004-4507.2011.07.008
硅芯硅棒自动清洗设备的研制
通过分析硅芯硅棒清洗方式的现状,提出其自动清洗设备研制的必要,介绍了全自动硅芯硅棒清洗机的技术参数和工艺流程,详细分析了设备的结构设计,包括工艺清洗系统、传动系统、电气控制系统、排风系统、管路系统和设备主体等。
硅芯、硅棒、清洗、腐蚀
40
TN305.97(半导体技术)
2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共3页
28-30
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10.3969/j.issn.1004-4507.2011.07.008
硅芯、硅棒、清洗、腐蚀
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TN305.97(半导体技术)
2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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