10.3969/j.issn.1004-4507.2011.06.007
砂轮划片机主轴系统装配精度对划切槽质量的影响
分析砂轮划片机主轴系统的装配精度,使得主轴刀盘面在工作台笛卡尔坐标系中的位置精度以及在安装砂轮刀片后,划切晶圆对划切槽质量造成的影响,如何调整刀盘的精度,降低崩边和裂角,提高划切槽的质量.
主轴、晶圆、划切槽
40
TN605(电子元件、组件)
2011-12-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
20-23
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10.3969/j.issn.1004-4507.2011.06.007
主轴、晶圆、划切槽
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TN605(电子元件、组件)
2011-12-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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