10.3969/j.issn.1004-4507.2011.06.004
掩模版升降定位存取机构
针对90 nm及以下线宽光刻设备对掩模版升降定位存取机构功能和性能的需求,确定了掩模版升降定位存取机构的基本构架,并对机构进行了设计.
掩模版、升降机构、定位存取机构、锁定、解锁
40
TN305(半导体技术)
2011-12-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
10-12,15
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10.3969/j.issn.1004-4507.2011.06.004
掩模版、升降机构、定位存取机构、锁定、解锁
40
TN305(半导体技术)
2011-12-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
10-12,15
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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