10.3969/j.issn.1004-4507.2011.06.002
太阳能电池生产线中新型等离子体刻蚀机刻蚀工艺探讨
介绍了一种新型等离子体刻蚀机的使用条件,通过对各种参数变化的组合实验,得到了最佳工艺数据.利用该刻蚀机生产的电池片刻蚀效果好,刻蚀后经检测,电池片漏电流小,并联电阻大,提高了电池片的综合性能指标.
等离子体、刻蚀、工艺、实验
40
TM910.5
2011-12-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共3页
5-6,48
相关文献
评论
10.3969/j.issn.1004-4507.2011.06.002
等离子体、刻蚀、工艺、实验
40
TM910.5
2011-12-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共3页
5-6,48
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
©天津万方数据有限公司 津ICP备20003920号-1
违法和不良信息举报电话：4000115888 举报邮箱：problem@wanfangdata.com.cn
