10.3969/j.issn.1004-4507.2011.03.009
空间太阳能电池用超薄锗单晶片的清洗技术
由于锗在常温时即不与浓碱发生反应,也不与单一的强酸反应[1],因此其清洗机理与硅、砷化镓等材料相差较大[2,3].在大量实验的基础上,阐述了锗单晶抛光片的清洗机理.通过对锗抛光片表面有机物和颗粒的去除技术研究,建立了超薄锗单晶抛光片的清洗技术,利用该技术清洗的超薄锗单晶抛光片完全满足了空间高效太阳电池的使用要求.
锗单晶抛光片、清洗、空间太阳能电池
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TN305.97(半导体技术)
2011-07-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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