10.3969/j.issn.1004-4507.2010.12.007
3D模块金丝键合在线检测技术研究
对金丝键合后键合质量的在线自动快速光学检测的原理、建模和检测成功率进行了概述,同时通过具体案例对金丝键合质量在线检测技术进行了研究.解决了键合质量的自动化在线检测的工程应用,对稳定3D微组装的键合质量起到积极的作用.
键合、多芯片模块、在线检测
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TN405(微电子学、集成电路（IC）)
2011-04-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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