10.3969/j.issn.1004-4507.2010.10.004
半导体设备抓取和放置控制方法研究
抓取和放置机构是半导体设备上的关键机构,它的运动时序直接关系到设备运行效率,介绍了半导体设备抓取和放置机构的几种控制方法,通过对几种方法的运行轨迹进行对比,获得并列举了各个方法的优缺点,并给出了应用场合.
半导体、抓取和放置、控制方法、轨迹规划
39
TN05(一般性问题)
2011-01-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共3页
12-14
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10.3969/j.issn.1004-4507.2010.10.004
半导体、抓取和放置、控制方法、轨迹规划
39
TN05(一般性问题)
2011-01-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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