10.3969/j.issn.1004-4507.2010.10.001
一种高产率的先进封装投影光刻机
从设备设计者及使用者的角度,详细描述了影响先进封装步进投影光刻机生产效率的主要因素,并基于灵敏度分析给出了产率优化方法,综合曝光性能分析给出了产率平衡策略.实测数据表明,SS B500系列光刻机达到了良好的产率性能,最高产率超过90片/h,适应厚胶大剂量曝光要求,能够满足后道FAB的生产线要求.
光刻机、产率、步进时间、曝光能量
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TN305(半导体技术)
2011-01-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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