10.3969/j.issn.1004-4507.2010.08.007
硼扩散片弯曲度的控制技术研究
对硼扩散片弯曲度的控制技术进行了研究.结果发现单面扩散后硅片的弯曲度比双面扩散的弯曲度大,晶锭加工之前的热处理工艺有助于弯曲度的改善.在单面减薄后对硅片进行碱处理工艺,进一步改善了扩散片的弯曲度.通过对硅单晶进行热处理、以及对硅扩散片进行碱处理等一系列措施,使扩散片的弯曲度有了较大幅度的改善.
硼、扩散、硅片、弯曲度
39
TG156.8+7(金属学与热处理)
2010-11-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共3页
26-27,44
