10.3969/j.issn.1004-4507.2010.08.003
PG-510型单面抛光机的研制
介绍了针对蓝宝石衬底表面纳米级抛光工艺而研制的PG-510单面抛光机的主要结构及其性能特点,简要论述了抛光过程中各工艺参数的控制方案,并通过实验验证了设备的主要性能指标,能够满足蓝宝石衬底表面纳米级抛光的工艺要求.
蓝宝石、纳米级抛光、CMP工艺
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TN305.2(半导体技术)
国家863项目200945KY02
2010-11-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
11-15,19
