10.3969/j.issn.1004-4507.2010.05.008
300mm离子注入机靶室晶圆传输控制系统设计
在实现了高效晶圆传输全自动控制的基础上,阐述了靶室晶圆传送系统运动部件的结构和各自的功能;介绍了整个晶圆传输控制系统的设计思路,在采用高性能多轴运动控制卡和机械手模块的硬件基础上,引用了有限状态机对系统软件进行了智能化模型设计.
晶圆传送系统、自动控制、机械手、Turbo PMAC、有限状态机
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TN305.3(半导体技术)
2010-08-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
26-29,37
