10.3969/j.issn.1004-4507.2010.03.012
晶圆厂信息控制系统介绍
信息控制系统(FICS)的集成是晶圆厂生产线集成的主要内容之一.介绍了65 mm级别用于生产微处理器(Microprocessor)的300 mm FAB的FICS架构实例,并就系统集成做了简单的描述,对制造执行系统MES和设备集成系统EI的客户化作了探讨,并介绍了EI部分的架构.
晶圆厂生产线、信息控制系统、软件集成、制造执行系统、设备集成系统、300mm国际标准、客户化
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TP14(自动化基础理论)
2010-05-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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