10.3969/j.issn.1004-4507.2010.03.010
2009～2014年全球光刻技术,光刻机及其他光刻系统展望
根据潜在的市场需求和产业前景,进行了系统地研究,提出了科学的分类研究方法.通过对市场需求的数据分析,展望今后5年全球光刻技术与设备的产业前景.
产业战略研究、光刻技术与设备、市场需求、产业前景、研究方法、数据分析
39
TN305.7(半导体技术)
2010-05-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
33-38
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10.3969/j.issn.1004-4507.2010.03.010
产业战略研究、光刻技术与设备、市场需求、产业前景、研究方法、数据分析
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TN305.7(半导体技术)
2010-05-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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