10.3969/j.issn.1004-4507.2010.02.003
激光技术在半导体行业中的应用
激光技术自诞生以来,受到了广泛地关注,并逐步拓展了其应用领域.对激光技术在晶片/芯片加工领域的应用、激光打标技术、激光测试技术以及激光脉冲退火技术(LSA)进行简要的介绍.
激光、激光打标、激光测试、脉冲退火技术
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TH744.5(仪器、仪表)
2010-04-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
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10.3969/j.issn.1004-4507.2010.02.003
激光、激光打标、激光测试、脉冲退火技术
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TH744.5(仪器、仪表)
2010-04-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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