纳米焦点X射线管和纳米CT检测集成电路封装中的微型互联
IC封装中嵌入的微型电路连接可以通过纳米焦点X光光管技术和纳米焦点CT来检测:包括铜或金焊线、堆叠芯片、倒装焊接、微穿孔连接的封装形式.生动地描述了2维3维X射线影像技术,并且呈现了亚微米分辨率的各种分析结果和缺陷案例.
对准系统、步进光刻机、对准方式、对准模型
38
TN305.90(半导体技术)
2009-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
51-54
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对准系统、步进光刻机、对准方式、对准模型
38
TN305.90(半导体技术)
2009-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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