10.3969/j.issn.1004-4507.2009.04.004
基于FPGA的电子束曝光机工件台控制器设计
基于激光干涉仪的精密工件台是电子束曝光机的关键设备.为了改进工件台控制器的运算速度.设计了一种基于FPGA的电子束曝光机工件台控制器.本控制器由上位机接口、激光干涉仪测量系统接口、电机控制接口、手动面板接口和主处理器组成,以美国Xilinx公司Span-tan3系列的FPGA芯片XC3s400为核心,实现控制器与上位机、激光干涉仪测量系统、伺服驱动系统、手动控制面板之间的数据交换和指令传递,完成工件台的精确移动,满足电子束曝光的定位精度和拼接精度的要求.
现场可编程门阵列、电子束曝光、工件台控制器
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TP305(计算技术、计算机技术)
2009-05-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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