以创新推动本土光刻设备的发展——访上海微高精密机械工程有限公司总经理程建瑞先生
@@ 在集成电路IC装备领域,先进的光刻设备和技术长期被外资厂商占据.在国家振兴制造装备业规划的宏观形式下,上海微高通过自身努力,以创新推动本土光刻设备的发展.当前上海微高承担着国家”863”重点攻关项目,是国家光刻机研发的主要力量;上海微高正通过不断的研发和创新投入,努力使其打造成中国的光刻机专家.
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2009-05-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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