10.3969/j.issn.1004-4507.2009.02.006
旋转法下降炉的智能控制
随着我国人工晶体材料工业的飞速发展,急需性能优良、稳定性好、自动化程度高的晶体生长设备.提出了炉室上升坩埚旋转技术,不仅利于提高生长晶体的品质,而且生长设备简单,易于实现自动化控制.采用性能优良的ADμC812微控制芯片进行控制,是晶体生长设备控制方法的有益探索.该设备自动化程度较高,速度运行可靠,维护简单方便,具有推广价值.
下降法、晶体生长炉、坩埚加速旋转技术、控制、ADμC812
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TF806.9(有色金属冶炼)
2009-05-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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