10.3969/j.issn.1004-4507.2009.02.005
大角度离子注入机控制系统软件设计
大角度离子注入机的控制系统具有控制部件和控制算法复杂、支持SEMI自动化软件标准等特点,通过优化软件结构和关键控制算法,成功实现控制系统设计和GEM标准组件设计,测试证明软件自动化程度高、稳定、可靠.
大角度离子注入机、软件结构、SEMI自动化软件标准
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TN305.3(半导体技术)
2009-05-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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