10.3969/j.issn.1004-4507.2008.10.008
多晶硅太阳电池 PECVD 氮化硅钝化工艺的研究
介绍等离子体化学气相淀积(PECVD)制备减反射钝化膜.将PECVD设备运用于太阳电池生产线上,发现通过PECVD设备可以对多晶硅太阳电池有很好的钝化效果.分析PECVD对多晶硅太阳电池钝化机理.
PECVD、钝化、氮化硅、等离子体增强化学气相淀积、太阳电池、多晶硅
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TK573;TN806.9(特殊热能及其机械)
2009-01-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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