10.3969/j.issn.1004-4507.2008.08.009
版库装置应用软件的设计与开发
版库装置是一些半导体设备的必要组件,版库装置的主要功能是:对放置于版库上的版盒进行检测,识别版盒中掩模版的存贮状况;锁定或解锁版盒;将指定版槽定位到版交接位置,从而对指定版槽进行放掩模版或取掩模版操作等.版库软件设计开发的目的就是为了实现上述功能.对版库软件的设计开发过程应用软件工程的方法.
版库装置、软件设计、升降台、掩模版、版盒、锁定、解锁
TP311.1(计算技术、计算机技术)
2008-10-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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