10.3969/j.issn.1004-4507.2008.07.014
Cymer准分子激光器的工作原理及应用
论述了Cymer公司ELS-6000系列准分子激光器工作原理和激光器的各个组成模块.在应用方面,论述了激光束的传输方法和与Stepper通信接口的应用,最后论述了激光气体的安全使用,防止对工作人员造成伤害.
准分子激光器、二聚物、投影光刻机
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TN248(光电子技术、激光技术)
2008-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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